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洁净室的检测技巧

文章出处:oppb.cn 人气:发表时间:2019-10-29 08:25

洁净室的检测技巧

核心提示:1。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。洁净车间一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,(21世纪)在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。无菌车间大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求,不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。供气量和排气量2.区域之间的气流控制3.过滤器泄漏检测4.隔离泄漏检测5.室内气流控制6.悬浮颗粒浓度和微生物浓度

1。送风量和排风量:如果是湍流洁净室,则需要测量送风量和排风量。如果是单向流动的洁净室,应测量风速。

2、区与区之间的气流控制:为了证明区与区之间的气流方向正确,即从洁净区到洁净差的地区,必须检测:每个区间的压力差是正确的;在门或墙的开口、地板等处,气流方向是正确的,即从洁净区域到洁净较差的区域。

3.过滤器泄漏检测:检查高效过滤器及其外框,确保悬浮污染物不会通过:损坏的过滤器;过滤器与外框之间的间隙;过滤器单元的其他部分进入腔室。

4.隔离泄漏检测:该测试用于证明悬浮污染物不会通过建筑材料渗透到洁净室。

5。室内气流控制:气流控制试验的类型取决于洁净室的气流流型是湍流的还是单向的。如果洁净室的气流是湍流的,则需要确认洁净室内没有气流不足。如果是单向流洁净室,必须验证整个房间的风速和风向符合设计要求。

6、悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述测试符合要求,那么最终测量出粒子浓度和微生物浓度,以确认它们符合洁净室设计的技术条件。

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